微电子技术

　　《微电子技术》简介

　　《微电子技术》(月刊)曾用刊名：(半导体情报)1964年创刊，以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体。《微电子技术》主管单位：中华人民共和国信息产业部，主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所，国内统一刊号：13-1314/TN，国际标准刊号：1671-4776

　　《微电子技术》通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成果展示、转化和技术交流的平台。

　　《微电子技术》栏目设置

　　专家论谈、纳米器件与技术、纳米材料与纳料结构、MEMS器件与技术、显微、测量、微细加工技术与设备、企业与人物追踪、业界快讯。

　　《微电子技术》杂志收录论文：

　　基于高分子聚合物毫米波滤波器快速制造技术……………………………………崔建利 段俊萍 赵龙 张斌珍

　　薄膜体声波谐振器的测试与表征……………………………………蔡洵 高杨 黄振华 刘海涛

　　KIO_4和FA/O螯合剂对铜钌CMP的影响……………………………………安卫静 周建伟 王帅 武鹏 王娟 王辰伟 段波

　　CMP中新型碱性阻挡层抛光液的性能……………………………………栾晓东 刘玉岭 王辰伟 高娇娇 张文倩

　　真空提纯对n型高阻区熔硅单晶研制的影响……………………………………庞炳远 闫萍 刘洪

　　《微电子技术》投稿须知

　　1、来稿要求论点明确、数据可靠、逻辑严密、文字精炼，每篇论文必须包括题目、作者姓名、作者单位、单位所在地及邮政编码、摘要和关键词、正文、参考文献和第一作者及通讯作者(一般为导师)简介(包括姓名、性别、职称、出生年月、所获学位、目前主要从事的工作和研究方向)，在文稿的首页地脚处注明论文属何项目、何基金(编号)资助，没有的不注明。

　　2、论文摘要尽量写成报道性文摘，包括目的、方法、结果、结论4方面内容(100字左右)，应具有独立性与自含性，关键词选择贴近文义的规范性单词或组合词(3～5个)。

　　3、文稿篇幅(含图表)一般不超过5000字，一个版面2500字内。文中量和单位的使用请参照中华人民共和国法定计量单位最新标准。外文字符必须分清大、小写，正、斜体，黑、白体，上下角标应区别明显。

　　4、文中的图、表应有自明性。图片不超过2幅，图像要清晰，层次要分明。

　　5、参考文献的著录格式采用顺序编码制，请按文中出现的先后顺序编号。所引文献必须是作者直接阅读参考过的、最主要的、公开出版文献。未公开发表的、且很有必要引用的，请采用脚注方式标明，参考文献不少于3条。

　　6、来稿勿一稿多投。收到稿件之后，5个工作日内审稿，电子邮件回复作者。重点稿件将送同行专家审阅。如果10日内没有收到拟用稿通知(特别需要者可寄送纸质录用通知)，则请与本部联系确认。

　　7、来稿文责自负。所有作者应对稿件内容和署名无异议，稿件内容不得抄袭或重复发表。对来稿有权作技术性和文字性修改，杂志一个版面2500字，二个版面5000字左右。作者需要安排版面数，出刊日期，是否加急等情况，请在邮件投稿时作特别说明。

　　8、请作者自留备份稿，本部不退稿。

　　9、论文一经发表，赠送当期样刊1-2册，需快递的联系本部。

　　10、请在文稿后面注明稿件联系人的姓名、工作单位、详细联系地址、电话(包括手机)、邮编等信息，以便联系有关事宜。

1.论文要求word电子文档，文稿格式要符合标准论文格式，文章内容要求原创、严禁抄袭。同一篇稿件切勿一稿多投，否则后果自负。

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